クリーンルームの静電気防止試験と受け入れ



1.天井、壁、柱の装飾プロジェクトの完了後、電子業界標準SJ / T10694および次の項目で指定されている方法に従って性能テストを実行する必要があります。
A.天井、壁、柱の装飾のカバーパネルは、静電気拡散性材料でできている必要があります。カバーパネルの表面抵抗は1.0×105〜1.0×1010Ω、第1レベルの基準の上限は1.0×108Ω未満、第2レベルの基準の上限は1.0×109Ω未満である必要があります。一般に、漆喰の壁またはカバーパネルは非静電気拡散性材料でできており、それらの表面は帯電防止コーティングで塗装する必要があります。コーティング材料は、静電気拡散性材料の性能基準を満たす必要があります。
B.静電気防止床の表面構造と材料は、次の基本要件を満たす必要があります。
a。静電気防止床の表層は静電気散逸性材料であり、その表面抵抗率は1.0×105〜1.0×1012Ω/□である必要があります。または、体積抵抗率は1.0×104〜1.0×1011Ω.cmである必要があります。一流の標準的な静電気防止床の表面材料の表面抵抗率の上限は、1.0×109Ω/ .cm未満でなければなりません。または、体積抵抗率の上限は1.0×108Ω.cm未満である必要があります。さらに、材料の静電減衰を定量的にテストする必要があり、半減期は0.5秒未満である必要があります。
b。静電気防止用アースは、静電気放電対策と接地構造を備え、アース間放電抵抗値は1.0×105〜1.0×109Ωである必要があります。ファーストクラスの標準的な対地放電抵抗値の上限は、1.0×107Ω以上である必要があります。第2種標準の対地放電抵抗値の上限は1.0×108Ω以上である必要があります。
2.関連する国内基準および関連する業界基準に加えて、静電気防止プロジェクトでのドア、窓、およびその他の装飾プロジェクトの受け入れも、次の要件を満たす必要があります。
A.ドアや窓の密閉性能、および接地接続を十分にチェックする必要があります。
B.ドア、窓、およびさまざまな装飾の表面抵抗をテストして決定する必要があります。ランダム検査の回数は3室以上とし、各自然室のすべての扉、窓、各種装飾面を検査する。
C.この規制の要件に準拠することに加えて、可燃性、爆発性、およびクリーンな環境でのドア、窓、およびその他の装飾プロジェクトの建設と受け入れも、特殊産業の国内基準および規制に準拠する必要があります。
3.関連する国内基準の要件に加えて、静電気防止プロジェクトでの電気工事の受け入れは、次の要件も満たす必要があります。
A.電子機器および設備のフィルムソケットは完全にテストする必要があり、中性線とアース線の間で実際に測定された電位差は1Vを超えてはなりません。
B.関連する静電気防止工学の電気構造の完成した図面を描きます。
4.静電気防止プロジェクトの接地システムは特別な承認を受ける必要があり、承認を引き渡す際には以下の文書と資料を提出する必要があります。
A.接地システム全体の完成図は、さまざまな接地接続ポイントの実際の場所と接続方法を示している必要があります。
B.接地システム全体の実際の建設記録、および主要な材料と付属品の保証、証明書または工場検査証明書。
C.接地接続部の電気接続信頼性の検査記録と接地接続部間の抵抗値の試験記録。
D.接地抵抗値のテスト記録と接地装置の隠された受け入れ証明書。
5.電子業界標準SJ / T10694の検出方法によると、静電気防止作業台の対地抵抗値は1.0×105〜1.0×109Ωである必要があります。

