クリーンルーム操作説明書
1.チップを取り扱うときは、ファイバーフリーの手袋を着用し、チップを保持するために清潔で清潔なピンセットを使用する必要があります。 指などでチップに触れないでください。 汚染されたチップは、使用する前に洗浄する必要があります。
（1）ピンセットの先端（チップの端を持っている部分）に触れたり、ピンセットを落としたりした場合は、ピンセットを外す必要があります。 汚れたピンセットをペーパータオルや布で拭かないでください。
（2）チップクリーニングの次のステップの前に、それが指で触れられているならば、それは再びクリーニングされなければなりません。
（3）石英ボートの上にチップを置きます。 炉の管に入る準備ができているとき、使用されるピンセットが汚れているか、またはチップがピンセットによって著しく汚染されている場合は、チップを再洗浄してきれいなピンセットと交換しなければならない。 。
2.チップは箱の中に入れ、覆わないようにして指定の位置に保管してください。
3.チップ上で唾液が飛び散るのを防ぐためにチップ上で話すのを避けます。 チップが拡散炉に入る前に、上記の行為を防ぐために特別な注意を払ってください。 チップが糸くずで覆われている場合は、窒素ガンでスプレーします。
4.チップを取り外すときは、テフロンボート、クォーツホイール（QuartzBoat）、およびその他のキャリアから、チップを傷つけないように垂直に持ち上げなければなりません。 顕微鏡レンズはすでにチップから外れています。 ホルダーからチップを取り出します。
5.チップ上に酸化物層が成長している場合は、黄色の部屋に送る前にダイヤモンドナイフを使ってチップに刻み込まないでください。
6.取扱いの際は、手袋を着用する場合は絶対に手を流しに入れないでください。
7.化学薬品ステーションまたはオーブンを使用してチップを処理するときは、必ずチップをテフロンボートに入れてください。 プラスチック製の箱は使用しないでください。
8.チップを石英ボートの上に置くとき、チップが地面または手の中に落ちた場合、酸化炉に入る前にチップを再度洗浄しなければなりません。
9.チップケースの内側に触れないでください。 それが壊れたチップで触れられるか、または汚染されるならば、それは再び掃除されなければなりません。
手袋、古紙、その他の雑多なものは本体に残さないでください。 手袋が焼けている、磨耗している、または繊維が多い場合は、手袋を交換する必要があります。
11.慣れていない器具やさまざまな開閉バルブのコントロールやハンドルを指示なしに決して開かないでください。
12.変な味や異常な反応液、色、音などがあった場合は担当者に連絡してください。
13.誤操作により機器が破損した場合は、ただちに担当者または教員に連絡してください。
14.チップボックスは、清潔でクリーンルーム内に保ち、ラップで梱包する必要があります。
15.クリーンルームでの録音には、ボールペンとほこりのないノートを使用してください。 通常、紙と鉛筆は持ち運ぶべきではありません。