クリーンルームの静的制御
1.静的制御の基本原理
（1）静的制御レベルを決定します
（2）静電荷の発生を最小限に抑える
（3）ベント・中和方式により、静電荷の散逸を促進し、静電気の蓄積を防ぎます。
（4）製品をESD損傷から保護します
2.静的制御のレベルを決定します
（1）コンポーネント、コンポーネント、および機器の静電感受性の分類
レベル1：0〜1999Vの静電電圧で簡単に損傷する
レベル2：2000〜3999Vの静電電圧で簡単に損傷する
レベル3：4000〜5999Vの静電電圧で簡単に損傷する
敏感な静電圧が16000Vを超える場合は、帯電防止対策を講じる必要はありません。
（2）静電保護作業領域の分類
クラスA：アースへの静電電位が±100Vを超えないようにします
クラスB：アースへの静電電位が±1000Vを超えないようにします
実際のプロジェクトでは、静電ポテンシャルは、100V、500V、1000Vなどの対応するコンポーネント、コンポーネント、および機器の静電感受性電圧の3レベルを超えません。
3.静電荷の発生を可能な限り最小限に抑えます
これは、静的制御の3部作の最初のステップです。 このクリーンな作業環境での最善の対策は次のとおりです。
（1）接触摩擦分離プロセス中に発生する静電荷を減らすために、同様の特性を持つ機器を使用するようにしてください。
（2）接触摩擦および分離のプロセス中の静電荷の蓄積を減らすために、静電気伝導性または静電気散逸性の材料を使用するようにしてください。
（3）接触摩擦分離によって発生する静電荷を低減する製造プロセスを使用するようにしてください。
4.解放と中和
これは、静電気を制御する3段階のプロセスの最初のステップです。 マイクロエレクトロニクス製造のクリーンルームでの通常の対策は、接地、導電性または散逸性の材料を使用して静電荷を放電すること、および電離散逸器を使用して静電荷を中和することです。
（1）接地
クリーンルームには、独立した静電接地システム（接地接地金属メッシュサポートシステム、生産ラインワークステーション接地サポートシステムを含む）を装備する必要があります。これにより、室内のすべての機器の金属シェル、モバイル機器の金属サポート、帯電防止が可能になります。機器等は安全かつ効果的に静電気を放電することができます。 地面に置いてください。 スタッフの充電された電気はリストストラップを介して接地され、帯電防止靴またはヒールストラップを介して地面に放出され、次に帯電防止接地を介して放電されます。 地面、壁、天井、仕切りなどは固く接地されていますが、機器のシェル、モバイル機器（車、椅子、棚など）、作業台などは柔らかく接地されています。
（2）イオン化されたシャオエレクトリック
クリーンルーム、生産ライン、およびワークステーションで製造および組み立てられたコンポーネントおよびPCBは、接地できない絶縁導体および絶縁誘電体材料（ほとんどの通常のプラスチックなど）が存在するため、常に避けられません。 一部の環境では、イオン化エリミネーターを使用してこれらのオブジェクトの静電荷を局所的に放散し、空気イオン化によって絶縁媒体と絶縁導体の静電荷を中和することがよくあります。
（3）静電気および静電気拡散性物質
静電気伝導性材料と静電気散逸性材料も、静電気伝導性のために非常に優れた静電荷放電材料であり、金属導体放電よりも安全です。 それらは通常、床、壁、作業台、およびターンオーバーコンテナとして使用されます。 、ピンセット、ブラシ、その他の帯電防止装置。
5. ESDを防ぎ、製品を保護します
これは、静電気を制御する三部作の最後のステップです。 マイクロエレクトロニクス製造のクリーンルームでは、静電気に敏感なコンポーネントまたはコンポーネント、PCBでESDが発生するのを防ぐために、1つの方法は、コンポーネントおよびコンポーネントに適切な接地またはシャントを提供して& quot;放散& quot;することです。 製品に存在する静電気。 充電; 別の方法は、適切な梱包方法と材料を使用して、静電に敏感なデバイスの梱包と輸送を処理することです。 これらの材料は、製品への電荷の侵入を効果的に遮断し、パッケージボックス内の製品の動きによって発生する静電荷を減らすことができます。
国際的には、半導体、フラット液晶ディスプレイ、およびオプトエレクトロニクスが急速に発展しており、集積レベルがますます高くなり、チップ線径が細くなり、帯電防止の要件がますます高くなっています。 American ESD Associationは、ANS ESD S 20.20-1999静電放電制御プログラムの改訂を開始し、SSD静電感受性分類にいくつかの修正を加えました。
これにより、コンポーネントユーザーは、人員や機器がいつ機器を製造しているかに関係なく、必要となる可能性のある環境制御要件を通知します。 EPAエリアの許容電圧が25Vに達した場合、既存の帯電防止機器、機器、ツール、エンジニアリングは大変な作業を経なければならないのではないかと心配しています。