粒子制御方法
このような周囲の広い環境での粒子管理は大きな課題であり、歩留まりに大きな影響を与えます。 したがって、オンライン製品データを分析し、より大きく、より高品質で手頃な価格のLCD用にプロセス関連の欠陥を修復するための信頼性があり、再現可能な方法を生み出すことが必要です。 これは、プレートとＬＣＤ材料が最終的に一緒に取り付けられる前に粒子が除去されることを確実にするために、製造プロセスにおける重要なプロセスの間にガラスが検査される必要があることを意味する。
表示が完了する前に、ピクセルをチェックする必要があります。これは、ピクセルが機能するかどうかを判断するために電源が投入された後にLCDセンサーによって実行されます。 テストでは、目に見える粒子によって引き起こされる黒い点が顕微鏡の下で現われれば、それは通常問題を解決するためにガス化されるか、またはレーザーでノックオフすることができます。 しかしながら、粒子が内部にある場合、ＬＣＤ材料がいったんガラスの間に挟まれると、それを修復することはできない。 あなたがすることができることはそれがより多くの損害を与える前にそれが修理されることができるように汚染の原因を特定することです。 幸いなことに、ディスプレイ製造プロセスには4つか5つのプロセスしかないので、汚染源を見つけるのは簡単です。 プロセス機器の故障、人的ミス、または清潔さが原因である可能性があります。
プロセス機器が多すぎる粒子を放出しているかどうかを判断するために、プロセス検査官はレーザーパーティクルカウンターを使用します。これも通常の空気モニタリング装置を使用してモニターされます。 。 一部の先進ディスプレイメーカーでは、プロセス機器、オーブン、および掃除機のすべてに、計画どおりに交換されるHEPAフィルターがあり、周囲の環境全体にも空気層流制御システムがあります。 気流速度が90 FPM（+/- 20 FPM）に維持されるのは、気流が110 FPMを超えると乱流が発生し、粒子が部屋全体に旋回するためです。 エッチングおよびセグメンテーションの分野では、多くの大きなガラス粒子が製造され、ＨＥＰＡフィルターを備えた真空掃除機を使用してガラス表面を洗浄し、空気および装置の表面から粒子を除去する。
職員は厳格な作業服ドレッシングシステムに従うべきである。 化粧やスプレーの香水はありません。 雑巾、モップ、フィルターを含むすべての消耗品は、工場に持ち込まれる前に滅菌され、二重袋に入れられるべきです。 クリーンルームの服は週に一度洗浄され、使用前に粒子検査が行われます。 アパレルサプライヤーは、クリーンルームの基準を満たしていることを確認するために、水、機器、予防保全技術、さらには環境中の微粒子について定期的に審査されています。 工場の温度と湿度を定期的に監視します。 システム全体を定期的に清掃し、衛生対策を講じ、予防保全を実施する。 洗浄プロセス中は、定期的にプロセス機器をこすって欠けている粒子を取り除いてください。 洗剤とケミカルフィルタを監視し、適時に交換します。
明らかに、汚染物質を制御する能力において、ディスプレイ産業は依然として１０年間半導体産業に遅れをとっており、そして汚染物質の制御は依然として問題である。 プロセス処理における汚染に対処するための解決策は、できるだけ早く危険を取り除き、検査と修理の技術を改善することです。 デバイス製造業者は製造技術の発展を望んでいるが、ディスプレイ製造業者の数は多く独立しているので、高度なプロセスの適用は今日まで困難であった。 したがって、長期的に見れば、ディスプレイ業界における公害防止のための統一基準を確立する必要があります。 企業は標準的な要件を満たすために社内業務を変更する必要がありますが、標準的には最終的に機器コストの削減につながります。 したがって、標準はいつか来るでしょう。