実用的なESD管理仕様
1. 目的:製造、取り扱い、保管、包装中の静電気放電により半導体製品が損傷するのを防ぐため、この手順を定式化
2.アプリケーションの範囲:エレクトロニクス生産、軍事産業、航空宇宙および他の企業に適しています。
3. 責任:
3.1 静電気保護エリアの全ての担当者は、この手順の要件を実施する必要があります。
3.2 あらゆるレベルの製造管理者/監督者/エンジニアは、部門のすべての担当者が適切なESDトレーニングを受けており、すべての機器および材料が適切にESD保護されていることを確認する必要があります。品質保証部の担当者は、この手順の実施を確実にするため、すべての静電気保護領域を定期的に監査する必要があります。
4. 定義:
4.1 ESD静電放電静電気放電、静電場によって生じる非等電位の2つの物体間の放電電流。
4.2 ESD保護エリアには、ESDの損傷を制限する生産および保管エリアを防止するのに十分なESD保護材料および設備が装備されています。同社のESD保護分野は、生産ワークショップ(パワー\マザーボード(DIP SMT)/システム)、QAテストルーム(IQC/バーンインローマ)、材料倉庫、製造およびメンテナンス部門です。
4.3 ESD保護材料は、次の材料の1つまたは複数を有する:1)静電気の生成を制限します。2)その上に蓄積された静電気はすぐに消散する。3)静電遮蔽。静電保護材料は、その表面抵抗に応じて:導電性材料()<10e5ω), static="" dissipative="" materials="" (10e5ω-10e9ω)="" and="" antistatic="" materials="">
4.4 ESDS静電気放電敏感静電気放電感度、製品品質は、静電気放電のために低下します。
4.5 FACILITY GROUNDは、プラント全体の接地線ネットワークの収束点である地下に埋もれた金属導体を指し、プラント全体のすべての接地線を直接または間接的に接続する必要があります。
4.6 硬い地面は施設の地面と直接または小さい抵抗を通して接続する。
4.7 柔らかい接地 ESD によって引き起こされる電流が 5MA を超えないように十分大きい抵抗を通して FACILITY 地面と接続します。
5.静電気保護ツール:接地銅ブロック、接地抵抗、接地ワイヤ、静電リング、静電気衣類、静電靴、静電リング検査器具、接地銅三つ編み、静電気靴。検査器具。
6. プログラムコンテンツ:
6.1 ESD保護エリア内のすべてのワークベンチ、カート、棚、機械の静電気防止フロアは確実に接地されています。
6.1.1 ワークベンチの表面基板は、1M抵抗を介してFACILITY GROUNGに接続することで、柔らかい接地です。
6.1.2 静電気防止棚は、柔らかい接地、接地抵抗は1M-10MΩ抵抗の間でなければなりません。
6.1.3 静電気防止カートは、銅製ブレード、導電性ホイールまたは導電性チェーンを介して導電性の床に接触する必要があります。
6.1.4 静電気防止フロアは、6ヶ月ごとに工場で検査する必要があります。その表面抵抗は、その静電気防止効果を確保するために1M-10MΩ間です。
6.1.5 すべての機械は確実に電源を供給するか、接地する必要があります。同時に、機械を操作する際にオペレータがESD保護を受けることができるように、機械上にESD監視対策が必要です。
6.1.6 オペレータは、柔らかい接地を実現するために静電気リングを着用する必要があります。静電リングが皮膚に接触していることを確認する必要があります。静電気保護エリアのすべての担当者は、静電気リング検査に合格する必要があります。静電リング自体の抵抗は200K-5Mの間にする必要があり、手とプラグの間の抵抗は摩耗時に100M未満でなければなりません。
6.1.7 静電気保護区域に入る人は、静電気衣、静電靴(または靴カバー)を着用し、静電服のボタンを固定し、静電気衣類は手首と接触し続けるべきである。
6.1.8 四半期ごとに、各地域のESD保護担当者は、すべての機械、ワークベンチ、棚、カートの接地状況をチェックし、それを渡した後にのみ使用する必要があります。
6.1.9 リサイクルボックスの場合、4ヶ月ごとにスクラップし、3ヶ月ごとに5個をランダムにテストし、QAに送って検査します。失敗した場合、静電気を防ぐために直ちに廃棄されます。
6.2 操作
製品組立、試験、目視検査、分析、安定性試験の過程で、製品が静電気シールド外包箱に入れていれば、その配置およびピックアップ方法は制限されません。
6.2.1 製品は、信頼性の高い接地されたワークベンチ、カート、棚、機械に配置する必要があります。
6.2.2 オペレータは、柔らかい接地のために静電気リングを着用する必要があります。
6.2.3 廃止されたデバイスにはそのような制限はありません。
6.3 ロゴ:
6.3.1 ESD保護領域には、オペレータを思い出させるために特別なESDラベルを貼り付ける必要があります。ESD ラベルには、検査員の署名と検査日が必要です。
6.3.2 ESDSの警告語は、出荷箱に印刷するか、特別なESDラベルを貼付する必要があります。
製品は、保管または非 ESD 保護領域に輸送される場合に、コンテナーに梱包する必要があります。容器は静電分野を遮蔽するために少なくとも1つの導電層を持っている必要があります。
6.5 ESDに敏感な教材に触れるすべての担当者は、ESDコースで訓練を受ける必要があります。