電子クリーンルームにおける静電気防止の重要性
クリーンルーム内での日常作業では静電気による事故が多発しており、クリーンルームの帯電防止性能は品質を評価する上で無視できない要素となっています。
静電気とは何ですか? 摩擦やその他の理由により、同量のプラス（+）マイナスの均一な電気的中性状態が破壊されるためです。<1) charges in the object, causing excess charge and the object becoming charged. Because these charges usually do not flow. , so it is called static electricity.
クリーンルーム内での静電気による事故には次のような側面があります。
1. 静電気放電によるルミネセンスは、写真の手足に感光性の損傷を引き起こす可能性があります。
2-静電気放電によって発生する放電電流は、半導体部品などの半導体部品の損傷や誤動作を引き起こす可能性があります。 たとえば、50 個の P-MOS 回路をビニール袋に入れて数回振ると、NAND ゲートのゲートが深刻に破壊されます。 ブロック数が 39 の場合、失敗率は 78% にもなります。 これは、半導体デバイスが静電気放電に非常に敏感であるためです。
3. 静電気放電により発生する電磁波は、電子機器や機器のノイズや誤動作の原因となることがあります。
4.静電気の機械的現象により、ふるいの穴がほこりで詰まり、糸の紡績が乱れ、印刷物の深さが不均一になり、最終製品が汚染される可能性があります。
5. 静電気放電によって引き起こされる最も危険な災害は、可燃性物質の火源によって引き起こされる爆発です。 たとえば、外国文献の統計によると、手術室で爆発性麻酔薬が使用された 86,000 回のうち、36 件の爆発が発生し、そのうち 21 件は静電気によって引き起こされました。 ;
静電気事故の主な原因は、静電気の発生と蓄積、空気の流れ、空気の流れと配管、通気口、フィルターなどとの摩擦、人体と衣類との摩擦、衣類と衣類との摩擦、粉砕、噴霧、噴射、洗浄などの工程 撹拌、接着、剥離など静電気が発生する可能性のある作業。 一般に、不導体の導電率が小さいほど、電荷が発生した後に流れにくくなり、帯電しやすくなります。
静電気の問題はクリーン ルームで特に深刻です。クリーン ルーム内には静電気を発生させるさまざまなプロセス要因があるだけでなく、プラスチックの床、壁、ナイロン、銭梁などの多くの材料がクリーン ルーム内に存在するためです。作業服などの作業服は、抵抗率が高いため静電気が発生しやすく、静電気が蓄積します。 これらの材料は、クリーン ルームにおける静電気の危険性が真剣に考慮される前に広く使用されていました。