クリーンルームの分類と用途
現在、最も一般的に使用されているクリーンルーム分類システムは、米国連邦規格 FS 209E です。一般にクリーンルームと呼ばれるクラス 100 クリーンルームでは、空間 1 立方フィートあたり 0.5 ミクロン以上の粒子が 100 個以下である必要があります。クラス 10 のクリーンルームでは、空間 1 立方フィートあたり 0.5 ミクロンの粒子が 10 個以下必要ですが、クラス 10 のクリーンルームでは、空間 1 立方フィートあたり 0.5 ミクロンの粒子が 10 個以下、クラス 1000 のクリーンルームでは 1,000 個以下の粒子が必要です。
一般に、クラス 1 クリーンルームは主に大規模集積回路を製造するマイクロエレクトロニクス産業で使用されます。-クラス 10 クリーンルームは主に半導体業界で使用されており、帯域幅は 2 ミクロン未満です。クラス 100 は最も一般的に使用されるクリーンルームで、医学、外科手術、人工臓器、集積回路製造における無菌製造プロセスに使用されます。クラス 1000 は主に光学製品や高品質のミニチュア ベアリングの製造、航空機のジャイロスコープのテストに使用されます。{6}クラス 10,000 は、油圧および空圧機器の製造に使用され、場合によっては食品や飲料の製造にも使用されます。クラス 100,000 は多くの産業分野で使用されており、食品、飲料、製薬産業でも一般的に使用されています。