静電気放電（ESD）の影響
1.1 ESDの問題
静電放電（ＥＳＥ）は、異なる静電位の２つの物体間の制御されない電荷の移動である。 ESDの最も一般的な結果は、静電気に弱い製品の損傷と機器の故障です。 半導体および電子産業、ならびに医療または光学装置の製造において、記録媒体フィルムは、そのような事例がしばしば発生する。 静電放電による損失を減らすために、製造時の安全性を確保するために、作業中は静電防止ワークベンチを使用することをお勧めします。
1.2業界で懸念されているESD
半導体エレクトロニクスの製造においては、小型化、高性能化、および高速回転化のニーズを満たすために、装置の形状はますます小さくなっている。 これにより、半導体ウエハ上のディスクリートデバイスの高密度化がもたらされ、ＥＳＤ現象は、溶融、金属被覆ラインガス化、薄い酸化物ビアなどのような様々なメカニズムを通じてデバイスの損傷または故障を引き起こす。 ESDイベントはデバイスの品質を低下させ、潜在的な欠陥や「病気の操作」を引き起こす可能性もあります。 デバイスは製造テストに合格することができますが、時期尚早に失敗します。
医療、光学、および誘電体薄膜産業は「静電荷または静電気放電」としても知られています。 膜が基板上に堆積されると、静電気事象がいつでも製品を損傷する可能性がある。
1.3機器の動作に対するESDの影響
ESDは製品を損傷するだけでなく、ESDイベントが製品の製造装置にも影響を与えます。 多くの製造装置の制御機能はマイクロプロセッサを使用しており、ESDイベントも製品の製造装置に影響を及ぼす可能性があります。 多くの製造装置の制御機能は、マイクロプロセッサ、電磁妨害（ＥＭＩ）放射効果、またはＥＳＤ事象によって発生する伝導効果を使用しており、これがそのような装置の動作を妨害する可能性がある。 1つのデバイスでESDイベントによって発生する電磁干渉は、近くのデバイスの動作に影響を与える可能性があります。
クリーンルームの自動化が進んでいるため、それらの運転はしばしばコンピュータ化されたプラント管理システム（FMS）によって制御されています。 ESDイベントによって1つのデバイスでデータの問題が発生すると、プラント全体の動作に影響が及びます。 機械の停止は通常壊滅的な問題ではありませんが、停止時間、処理速度の低下、そして時には製品の損失を招く可能性があります。 製造工程の非効率性は製造コストを増大させる。