クリーンルームのESD保護要件
外気の状態がどのように変化しても、クリームルームは当初の設定どおりの清浄度、温度、湿度、圧力の特性を維持できます。
クリーンルームの主な機能は、製品（シリコンチップなど）が接触する雰囲気の清浄度、温度、湿度を制御し、良好な環境空間で製品を製造できるようにすることです。 このスペースは& quot;クリーンルーム& quot;と呼ばれます。"。
国際規格によると、クリーンルームのレベルは主に、直径が分類基準よりも大きい空気1立方メートルあたりの粒子数に基づいています。
クリーンルームは、以下の要件に従って設定する必要があります。
1.帯電防止床：ポイントツーポイント抵抗& lt;10E9Ω; ポイントツーグラウンド抵抗& lt;10E9Ω
2.帯電防止ウォールボード：ポイントツーポイント抵抗& lt;10E9Ω; ポイントツーグラウンド抵抗& lt;10E9Ω
3.帯電防止ウィンドウ：ポイントツーポイント抵抗& lt;10E9Ω; ポイントツーグラウンド抵抗& lt;10E9Ω
4.信頼性の高い接地システム：ポイントツーポイント抵抗& lt;1Ω
5.空気イオン化システム：プロセス技術に従って、バランス電圧範囲と非通電時間を決定します。 推奨：バランス電圧& lt;±35V