クリーンルームの浄化レベルを確保するためには静電気の除去が必要です
クリーンルームは多くの産業で欠くことのできないものですが、技術の進歩がクリーンテクノロジーの継続的な進歩を推進しているマイクロエレクトロニクス産業にとっては特に重要です。 しかし、クリーンルームの静電気防止は常に最優先事項です。 クリーンルーム内で製造されるあらゆる電気部品は基本的に帯電防止を必要とするので、高性能の製品が製造されるとき、静電吸着があると、吸着されたダストが破壊中心となり、材料が作られる。 絶縁性が低下するなど、コンポーネント、機器、さらには壁や床に静電気が発生することがあります。 静電吸着は静電荷によって引き起こされ、それはクリーンルームの清浄度の低下を招く。 同時に、清浄度が低下した後に空気中の粒子の量が増加し、これは静電吸着の現象をさらに悪化させる。
そのため、クリーンルームでは、公害防止に注意を払いながら、静電気防止にも注意を払う必要があります。 現在の経験から、次の3つの側面からの制御が最も効果的で経済的です。
1.クリーンルームの建築材料は帯電防止を必要とします
材料を設計および選択するときには、静電気を受けにくい材料または静電気を発生する材料を使用できます。 クリーンルームの設計は帯電防止フロアに限定されず、クリーンルーム間仕切り、壁およびクリーン構造システムが考慮される。 現時点では、静電気対策の補助手段または静電気対策として、静電塗装、静電スプレーなどの静電防止要件を設計時にも十分に考慮しています。 クリーンルームから静電気が発生しないようにします。
2、クリーンルームの空気、温度と湿度を使用して制御する
空気湿度は約RH50％、温度は約23℃で、静電気防止の良い環境です。 設計条件により、できるだけそれに近づけることができます。
3、帯電した人体を排除
クリーンルームに入る人員は、静電気を除去するために、静電気防止用のきれいな衣服を着用し、静電気防止手袋を着用し、そして静電気防止靴を着用する必要があります。 輸送回転率のトロリーや箱などの道具も帯電防止製品であるべきです。
静電気は多くの場合望ましくなく、可燃性で爆発性のガスがある場所では非常に危険です。 静電気はクリーンルーム内で火災や爆発を引き起こす可能性は低いですが、クリーンルーム内で発生する静電気は電子製品の静電気放電に非常に有害です。 したがって、クリーンルーム内の静電気の管理は無視できません。