電子クリーンルームにおける帯電防止の重要性
クリーンルームの日常業務では、静電気による事故が多発しており、クリーンルームの帯電防止性能は品質評価において無視できない側面になっています。
静電気とは？オブジェクトの正（+）負GG lt; one）電荷の均一なニュートラル状態を破壊するのは摩擦やその他の理由によるため、電荷は過剰であり、オブジェクトは帯電状態にあります。通常、これらの電荷は流れないため、静電気と呼ばれます。
クリーンルームでの静電気による事故には、次のような側面があります。
1.静電放電のルミネセンスは、写真の手足などの感光性損傷を引き起こす可能性があります。
2-静電気放電による放電電流は、半導体部品の損傷や誤動作の原因となります。たとえば、50個のP-MOS回路をビニール袋に入れて数回振ると、NANDゲートが大幅に破壊されます。 39ブロックすると、故障率は最大78％になります。これは、半導体デバイスが静電放電に非常に敏感であるためです。
3.静電気放電によって発生する電磁波は、電子機器やデバイスのノイズや誤動作を引き起こす可能性があります。
4.静電気の機械的現象により、スクリーンの穴がほこりによってふさがれ、紡績糸が混沌とし、印刷の深さが不均一になり、製品が汚染されます。
5.静電気放電によって引き起こされる最も危険な災害は、可燃性になる火源井によって引き起こされる爆発です。たとえば、外国文学の統計によると、手術室で使用された86、000個の爆発性麻酔薬のうち、36個の爆発が発生し、そのうち21個は静電気によるものでした。 ;
静電気事故の発生は、主に静電気の発生と蓄積、気流の流れ、気流とパイプの摩擦、羽口、フィルター、人体と衣服の摩擦、摩擦にあります衣服の間で、粉砕、噴霧、噴射、洗浄、攪拌、接着、剥離操作のすべてが静電気を発生させる可能性があります。一般に、非導電性の非導電体は、電荷が生成された後は流動しにくいため、帯電する可能性が高くなります。
静電気の問題はクリーンルームで特に深刻です。なぜなら、静電気を生成するさまざまなプロセス要因がクリーンルームで利用できるだけでなく、プラスチックの床、壁、ナイロン、実際の作業服は非常に高い抵抗率であり、静電気を発生させ、静電気を蓄積するのは非常に簡単です。クリーンルームでの静電気災害が深刻化する前は、これらの材料が広く使われていました。