EPA地域の環境条件は何ですか
1.温度：温度調整装置を帯電防止作業エリア（EPA）に設置して、室温を15〜35°Cの範囲内に維持する必要があります。
2.温度：室内の相対湿度を45％〜75％RHの範囲内に保つために、湿度調整器を帯電防止作業領域（EPA）に設置する必要があります。
3.空気圧：帯電防止作業領域（EPA）の大気圧は、86 〜106kPaの範囲内である必要があります。 上記の要件を満たせない場合は、圧力調整措置を講じる必要があります。
4.清浄度（必要に応じて監視）：クリーンな環境の帯電防止作業エリア（EPA）処理サイトが必要であり、ワークショップの空気清浄度レベルは、関連するプロセス設計文書に従って実装する必要があります。
以上がEPAの地域環境管理の基本事項です。
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